ครั้งแรกของจีน! เปิดตัวเครื่อง e-beam lithography ผลิตชิปเองในประเทศ ปลดล็อคการผูกขาดตลาดโลก

15-8-2025

  SCMP รายงานว่า จีนประกาศความก้าวหน้าครั้งสำคัญด้านเทคโนโลยีการผลิตชิป โดยเตรียมส่งมอบเครื่อง e-beam lithography เชิงพาณิชย์ที่ผลิตขึ้นเองเป็นครั้งแรกในประเทศ ถือเป็นหมุดหมายสำคัญในการพัฒนาอุปกรณ์สร้างวงจรบนแผ่นซิลิกอนและเตรียมรับมือกับการแข่งขันอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรงยิ่งขึ้นทั่วโลก.

  เครื่องใหม่ดังกล่าวใช้ชื่อว่า “Xizhi” ตั้งตามนักคัดลายมือชื่อดังในประวัติศาสตร์จีน Wang Xizhi (หวัง ซีจื่อ) พัฒนาโดยห้องปฏิบัติการเทคโนโลยีควอนตัมแห่งมหาวิทยาลัยเจ้อเจียง (Zhejiang University) เมืองหางโจว เครื่องนี้ขับเคลื่อนด้วยลำอิเล็กตรอนเพื่อ “เขียน” วงจรลงบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอน สร้างแพทเทิร์นวงจรความแม่นยำสูงระดับ 8 นาโนเมตร และมีความแม่นยำในการจัดตำแหน่งถึง 0.6 นาโนเมตร ซึ่งเทียบเคียงมาตรฐานสากล ขณะเดียวกันราคาแข่งขันได้กับเครื่องนำเข้า.

  ที่ผ่านมา มาตรการคุมเข้มของสหรัฐฯ ในการส่งออกอุปกรณ์ไฮเทค รวมถึงเครื่อง e-beam lithography ทำให้สถาบันวิจัยชั้นนำของจีน เช่น University of Science and Technology of China และ Zhejiang Lab ไม่สามารถเข้าถึงเทคโนโลยีล่าสุดได้ รายงานจาก Hangzhou Daily ระบุว่า การส่งมอบ Xizhi จะช่วย “สลายทางตัน” และเสริมศักยภาพ R&D ในประเทศอย่างมีนัยสำคัญ.

  การตอบสนองของปักกิ่งครั้งนี้มุ่งเน้นกลยุทธ์เพิ่มความเป็นอิสระของอุตสาหกรรมชิปในประเทศ หลังมาตรการ export control ของสหรัฐฯ โดย Bureau of Industry and Security ในปี 2022 และการร่วมมือกับพันธมิตร เนเธอร์แลนด์ สั่งห้ามบริษัท ASML ขายเครื่อง DUV และ EUV รุ่นล้ำสมัยให้แก่จีน ส่งผลให้จีนต้องเร่งพัฒนาเทคโนโลยีของตนเองอย่างเต็มที่.

  แม้เครื่อง e-beam lithography จะยังไม่สามารถผลิตชิปในปริมาณมากเทียบเท่า DUV หรือ EUV จากบริษัท ASML (เนเธอร์แลนด์) แต่โดดเด่นในการแพทเทิร์นวงจรที่มีความแม่นยำสูงและเหมาะสมกับการทดสอบ-ออกแบบต้นแบบใหม่ รวมถึงการให้ความยืดหยุ่นกับนักวิจัยในด้านการปรับแต่ง.

ในรายงานล่าสุด ราคาของ Xizhi ต่ำกว่าเครื่องนำเข้า และพบว่ามีการเจรจาเชิงพาณิชย์กับสถาบันและบริษัทชั้นนำหลายแห่งแล้ว พร้อมเตรียมนำเข้าสู่การใช้งานเชิงพาณิชย์.

----

IMCT NEWS

ที่มา https://www.scmp.com/economy/china-economy/article/3321887/china-debuts-first-e-beam-lithography-machine-commercial-use-chipmaking-milestone?module=top_story&pgtype=homepage